Полное описание

Ж2-20/69367
621.3/П 167
Панфилов, Юрий Васильевич. Формирование функциональных слоев : учебное пособие / Ю. В. Панфилов ; Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 90, [1] с. : ил. - (Учебное пособие МГТУ им. Н. Э. Баумана). - Библиогр.: с. 89. - 100 экз. - ISBN 978-5-7038-5350-4 : 100 р. - Текст (визуальный) : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.76-047.84
47.13.07	621.384-022.532-047.84

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Наноэлектронные устройства -- Производство

Кл.слова (ненормированные): элионная обработка -- тонкие пленки -- нанесение в вакууме -- вакуумно-плазменное травление -- ионно-лучевая обработка -- измерения в вакууме -- контроль в вакууме
Аннотация: Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур.
Доп. точки доступа:
Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (1)
Экз.Э20-69079а (ХРЦ) занят;

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽