Полное описание

Д10-18/63229
669.017/К 893
Кузьменко, А. П. Самоорганизация при формировании металлических магнетронных нанопленок : монография / А. П. Кузьменко, Нау Динт, Мьо Мин Тан ; Миобрнауки России, Юго-Западный государственный университет (ЮЗГУ). - Курск : Унив. кн., 2018. - 218 с. : ил. - Библиогр.: с. 194-218 (192 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-907138-50-6 : 260 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
53.49.01	669.017:539.216.2-022.532

Рубрики:
Металлические пленки

Аннотация: Монография соответствует Государственным образовательным стандартам по направлениям ; 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника. В монографии проведен анализ результатов по получению и исследованию одно , - двух и трехслойных металлических магнетронных нанопленок из меди, алюминия, никеля и хрома, широко используемых в микроэлектронике, методами сканирующей электронной и зондовой микроскопии, колебательной спектроскопии, IP анализа и комбинационного рассеяния света, рентгенофазового анализа и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, спектральной эллипсометрии, установлена взаимосвязь параметров и режимов их формирования с морфологическими особенностями, фазовыми структурными превращениями как в процессе их нанесения , так и при деградации, возникающей при их нагреве на воздухе до температур близких к температуре Дебая, описана роль как баллистической, так и кинетической агрегации кластеров, предложена модель нанокластерной трехмерной коалесцении.
Доп. точки доступа:
Нау Динт
Мьо Мин Тан
Юго-Западный государственный университет (Курск)

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ПНТ (1), ФО25 (1)
Свободны: ПНТ (1), ФО25 (1)
Заказаны экз-ры для отделов: ФО17, ФО19

Оглавление

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽

Просмотр издания