Полное описание

Ар20-5817
661.8/С 898
Сунь Чжилэй. Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : 01.04.07 Физика конденсированного состояния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Сунь Чжилэй. - Томск : [б. и.], 2020. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
61.31.51	661.882-416(043)

Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- фотокаталитическая активность -- азот -- содержание -- ширина запрещенной зоны -- режимы осаждения -- термический отжиг
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽