Полное описание

Журнал
Materials Science in Semiconductor Processing : A section of the international journal Solid-State Electronics. - Kidlington, Oxford : Elsevier Science Publ.: Pergamon, 1998 - . - Выходит раз в два месяца. - ISSN 1369-8001. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК
47.13.11 621.315.592.002
47.09.29

Аннотация: Статьи по результатам теоретических и экспериментальных исследований в области получения и обработки полупроводниковых материалов, по текущему состоянию знаний, крупным достижениям и тенденциям развития областей, основополагающих для создания полупроводниковых устройств (ионная имплантация, диффузия и геттерирование, моделирование процессов и оборудования, металлизация и соединения, монтаж и т.д.), включая темы: передовые методы литографии для устройств субмикронного размера, травление и сопутствующие процессы, эволюция повреждений, плазма и химическое осаждение из паровой фазы, быстрая термическая обработка, имплантация ионов сверхнизкой энергии, геттерирование для СБИС и др.; новые материалы и технологические процессы для схем на дискретных компонентах и интегральных схем; гетероструктуры и квантовые устройства, наноструктуры и наноустройства для применения в наноэлектронике и др. Отдельно издающийся раздел журнала Solid-State Electronics.

database website Sciencedirect

journal link

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): V5089)

Записей номеров в Каталоге: 10

Год Том Номера 1 2 2/3 3 4 4/5 6 1999 2       2002 5