Полное описание

Йе Тун Тэйн. Методы управления режимами диффузионных установок и контроля качества топологий в микро и наноэлектронике : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.06 / Йе Тун Тэйн. - М., 2014. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (14 назв.). - 80 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84(043)
47.01.81	621.384-022.532-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- НАНОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА -- ПРОИЗВОДСТВО -- ТЕХНИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ
Аннотация: Установлено повышение стабильности процесса диффузии путем сокращения интервала нестабильности переходного процесса, повышение производительности установки благодаря сокращению интервала выхода на режим и совершенствование качества контроля топологии фотошаблонов, а следовательно уменьшение разброса параметров микросхем и тем самым повышение процента выхода годных микросхем.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар14-10226)

Шифр в сводном ЭК: 335b1e5fac348fd847a2151e177ed412

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽