Полное описание

Micro-manufacturing engineering and technology / Ed. Y. Qin ; ed. Y. Qin. - Oxford [etc.] : William Andrew: Elsevier, 2010. - XIV, 414 p. : ill. - (Micro & nano technologies / ed. J. Ramsden). - Библиогр. в конце частей. Указ.: с. 405-414. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4-047.84

Рубрики:
Микроэлектромеханические системы -- Производство

Доп. точки доступа:
Qin, Y.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/28251)

Шифр в сводном ЭК: 18650d9181b63f727f7702d43cda929e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽