Образование фазы силицида при имплантации низкоэнергетичных ионов Mo+ и Ta+ в кремний / Э.Х.Еникеев,А.Г.Любимов,О.Р.Людчик и др.;.. Отд. колебаний, 1990. - 24 с. - Текст : непосредственный.