Полное описание

Захаров, А. А. Физико-химические основы размерной обработки полупроводников. Механическая обработка / А. А. Захаров, В. А. Юзова. - Красноярск : [б. и.], 1997. - 217 с. : ил. - 200 экз. - ISBN 5-7636-0076-2. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Краснояр.гос.техн.ун-т.Библиогр.:с.211-215 (54 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.002

Рубрики:
Полупроводники -- Обработка

Кл.слова (ненормированные): ОБРАБОТКА -- ПОЛУПРОВОДНИК
Доп. точки доступа:
Юзова, В.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-97/36715)

Шифр в сводном ЭК: fbab0d35c77732d2408a8df9fd792b42

Заказать издание
Заказ фрагмента документа