Полное описание

Adamski, C. Epitaktisches CoSi2 als Leitbahn- und Kontaktmaterial fur grossintegrierte Schaltungen : Diss. / C.Adamski. - Hannover, 1990. - 103 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.99-101

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002(043)

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Металлизация

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/16223)

Шифр в сводном ЭК: f4ed450a67db72305c2ac7ef8ae1e342

Заказать издание
Заказ фрагмента документа