Полное описание

Plasma etching : an introduction / Ed.: D. M. Manos, D. L. Flamm ; ed. D. M. Manos, ed. D. L. Flamm. - Boston, Ma [etc.] : Acad.press, 1989. - VII,476 p. p. : ill. - (Plasma materials interactions). - ISBN 0-12-469370-9. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст.Указ.:c.471-476

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.9.04:533.9

Рубрики:
Плазма -- Применение

Кл.слова (ненормированные): ПЛАЗМА
Доп. точки доступа:
Manos, D.M.\ed.\
Flamm, D.L.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/21476)

Шифр в сводном ЭК: e5c9f79f4ff30a77e8fadabdca913288

Заказать издание
Заказ фрагмента документа