• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Jiang, X. Untersuchung mechanischer Eigenschaften von a0C:H- und a-Si:H-Schichten mittels Brillouin-Streuung und Nanoindenter / X. Jiang. - J@:ulich : [s. n.], 1990. - 92 S. : Ill. - (Berichte / Kernforschungsanlage(Julich), ISSN 0366-0885 ; N2397). - Текст : непосредственный.
    Рез.англ.Библиогр.: c.88-92

    ГРНТИ УДК
    29.19.31537.311.322:539.216.2(043)
    31.21.21547.21.03:539.216.2(043)

    Рубрики:
    Кремниевые пленки
    Углеводородные пленки

    Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ ПЛЕНКА -- УГЛЕВОДОРОДНАЯ ПЛЕНКА -- КРЕМНИЕВАЯ ПЛЕНКА -- УГЛЕВОДОРОДНАЯ ПЛЕНКА
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/2657/2397)

    Шифр в сводном ЭК: d14e1cd3b1422ad5dd37da52e8674cef



    Заказ фрагмента документа ₽