Полное описание

Одиноков, В. В. Новое технологическое оборудование - инновационным технологиям микро-, нано-, радиоэлектроники / В. В. Одиноков. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск, 2011. - С. 787-797.
ГРНТИ 81.29.21

Аннотация: Представлены ведущие направления работ НИИТМ (Научно-исследовательского института точного машиностроения), к которым относится разработка, изготовление и поставка малогабаритного технологического вакуумного оборудования настольного типа для технического обучения, научных исследований, экспериментальных и опытно-промышленных производств, предприятий малого бизнеса.

Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -159849-710304)

Шифр в сводном ЭК: cc1c38099eb0bffb3d5e0ba9352ed09f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа