Полное описание

Тысченко, И. Е. Высокотемпературная ионная имплантация в кремний : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физико-мат.наук:01.04.10 / И. Е. Тысченко. - Новосибирск, 1992. - 15 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос.Акад.наук,Сиб.отд-ние,Ин-т физики полупроводников. Библиогр.: с. 15(8назв.).

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР92-3220)

Шифр в сводном ЭК: c8009c42a234f12c069d14b2c22f39f3

Заказать издание
Заказ фрагмента документа