Полное описание

Ehmann, T. Systematische Untersuchungen zur Ultraspurenanalytik von Anionen mit der Kapillarzonenelektrophorese und ihre Anwendung in der Halbleiterindustrie : Diss. / T.Ehmann. - Darmstadt, 1998. - ii,142 S. S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.90-95

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382.002(043)

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Загрязнение и защита от него

Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/20758)

Шифр в сводном ЭК: c0b3066a61903778e54081a5096cd7d6

Заказать издание
Заказ фрагмента документа