Полное описание

Kolman, D. A three-dimensional two-phase model for thermal plasma chemical vapor deposition with liquid feedstock injection / D.Kolman,J.Heberlein,E.Pfender. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 1997. - 19 p. : ill. - (IBM shared research report / UM-IBM ; 97/3). - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.12-13

ГРНТИ	УДК
29.19	549.211:539.216.2

Рубрики:
Алмазные пленки -- Производство

Доп. точки доступа:
Heberlein, J.
Pfender, E.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17789/97/3)

Шифр в сводном ЭК: b50b5dc3dfe16db23a01a587dfc38fbb

Заказать издание
Заказ фрагмента документа