Полное описание

Сдобняков, В. В. Радиационно-стимулированное формирование нитрида кремния в кремнии при последовательном облучении встречными пучками ионов азота и аргона : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / В. В. Сдобняков. - Н. Новгород, 2006. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18(18 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар06-13211)

Шифр в сводном ЭК: b25b6895a794c08ffbc827443ec7adf2

Заказать издание
Заказ фрагмента документа