Полное описание

Microcircuit engineering 91 : ME : proc.of the intern.conf.on microlithography,Sept.17-19,1991,Rome / Ed.: A. Tucciarone, A. Paoletti ; Ed.: A. Tucciarone, A. Paoletti. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 1992. - XVII,582 p. p. : ill. - (Microelectronic engineering ; vol.17,N 1-4,1992). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.:с.567-582

ГРНТИ	УДК
47.41	621.3.049.77-047.84:776(062)
47.01.13

Рубрики:
Электронолитография -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ
Доп. точки доступа:
Tucciarone, A.\ed.\
Paoletti, A.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/Vol.17,N 1-4,1992)

Шифр в сводном ЭК: ae71e112ecb604cf3fc5a3d872c4f4c5

Заказать издание
Заказ фрагмента документа