Полное описание

Водзинский, В. Ю. Современное состояние и перспективы КМОП технологии в производстве СБИС : учебное пособие / В. Ю. Водзинский, О. В. Офрова. - н. новгород : Нижегор. гос. техн. ун-т им. Р. Е. Алексеева, 2009 (н. новгород). - 71 с. - Библиогр.: с. 67-69. - 200 экз. - ISBN 978-5-93272-635-8. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Нижегор. гос. техн. ун-т им. Р. Е. Алексеева

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Производство

Доп. точки доступа:
Офрова, О.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-09/56828)

Шифр в сводном ЭК: ac1fbb18cfcc9391d082830820466520

Заказать издание
Заказ фрагмента документа