Полное описание

Захаров, А. А. Физико-химические основы размерной обработки полупроводников. Механическая обработка : учеб. пособие / А.А.Захаров,В.А.Юзова. - Красноярск : [б. и.], 1995. - 177 с. : ил. - 300 экз. - ISBN 5-230-08351-4. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Краснояр. гос. техн. ун-т. Библиогр.: с.173-176 (51 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.002:621.9

Рубрики:
Полупроводники -- Обработка резанием

Доп. точки доступа:
Юзова, В.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-95/28806)

Шифр в сводном ЭК: 9eb1431e4eb754544c8f9c71d72d3ecc

Заказать издание
Заказ фрагмента документа