Полное описание

Тыщишин, В. В. Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / В. В. Тыщишин. - М., 1999. - 21 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 20-21(12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77.004.6(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-150)

Шифр в сводном ЭК: 9755ac7e4667217ef406ad781107a154

Заказать издание
Заказ фрагмента документа