Полное описание

Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении : серия из 7-ми моногр. - Ивантеевка : Изд-во НИИ предел. технологий, 2012 - . - Текст : непосредственный.
1 : Наноинженерия туннельных преобразователей / Н. Н. Балан [и др.]. - 2012. - 200 с. - Библиогр.: с. 123-143. - 300 экз. - ISBN 978-5-905872-03-7

ГРНТИ	УДК
81.13.30	621.31-022.532

Рубрики:
Наноэлектромеханические системы

Аннотация: Рассмотрены общие и специальные вопросы принятия базовых микро- и наноинженерных решений при проектировании и изготовлении упругих чувствительных элементов наноэлектромеханических преобразователей, позволяющие создавать принципиально новые твёрдотельные приборы на основе квантовых эффектов - монолитные туннельные преобразователи, на базе которых могут быть построены измерительные системы нового поколения (акустические, акселерометрические и т.д.), обладающие повышенной чувствительностью и широким динамическим диапазоном.
Доп. точки доступа:
Балан, Н.Н.
Васин, В.А.
Ивашов, Е.Н.
Львов, Б.Г.
Невский, А.Б.

Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/67641/1)

Шифр в сводном ЭК: 8fefd53bfab78a2f9c1628b3cfe254ec

Заказать издание
Заказ фрагмента документа