Полное описание

Физико-химические процессы в микроэлектронике : сб. науч. тр. / Моск. ин-т тон. хим. технологии ; Отв. ред. В. Б. Уфимцев. - М. : МИТХТ, 1990. - 367 с. : ил. + 1 л.ил. - 650 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце ст.

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.002
47.13.11

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Уфимцев, В.Б.\ред.\
Московский ин-т тонкой хим. технологии им. М. В. Ломоносова

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-90/76036)

Шифр в сводном ЭК: 895d8369cbe75a6207e0bf051ff7894d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа