Полное описание

Buchberger, P. MIDAS.Ein wissensbasiertes System zur Unterstutzung des fertigungsgerechten Entwurfs von LIGA-Mikrostrukturen / P. Buchberger, H. Eggert, K. P. Scherer. - Karlsruhe : [s. n.], 1997. - VI,119 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 5843). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.117-119

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621-181.4(043)
	621.3.049.76.001.2-52(043)

Рубрики:
Миниатюрные изделия -- Проектирование -- Автоматизация
Микроэлектронные приборы -- Проектирование -- Автоматизация

Доп. точки доступа:
Eggert, H.
Scherer, K.P.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5843)

Шифр в сводном ЭК: 7a580c1b5d02916b08af5586ab5ed4f3

Заказать издание
Заказ фрагмента документа