Полное описание

Swihart, M. An analysis of flow, temperature and chemical composition distortion in gas sampling through an orifice during chemical vapor deposition / M.Swihart,S.L.Girshick. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 1999. - 35 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 99/21). - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.21-24

ГРНТИ	УДК
29.19.16	539.23

Рубрики:
Пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКА
Доп. точки доступа:
Girshick, S.L.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17401/99/21)

Шифр в сводном ЭК: 68ddc72de800f9598d5045a721758669

Заказать издание
Заказ фрагмента документа