Полное описание

Вакуумное напыление каталитических нанокластеров и формирование углеродных наноструктур при низких температурах в едином технологическом цикле / И. Короташ, В. Одиноков, Г. Павлов [и др.]. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск, 2011. - С. 798-802. - Библиогр.: 4 назв.
ГРНТИ 47.13.07 + 50.10.29

Аннотация: Разработана технология ионно-плазменного формирования массивов углеродных нанотрубок на подложках монокристаллического кремния, ориентированная на создание автоэмиссионных источников электронов для дисплеев с высокой разрешающей способностью. Технология реализована в выпускаемом оборудовании в ОАО "НИИ точного машиностроения".
Доп. точки доступа:
Короташ, И.
Одиноков, В.
Павлов, Г.
Полоцкий, Д.
Руденко, Э.
Семенюк, В.
Сологуб, В.
Шамрай, К.


Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -894773-270319)

Шифр в сводном ЭК: 5cbaf77fb5eb69ff9c351d3233a9af75

Заказать издание
Заказ фрагмента документа