Полное описание

Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении : серия из 7-ми моногр. - Ивантеевка : Изд-во НИИ предел. технологий, 2012 - . - Текст : непосредственный.
2 : Наноинженерия углеродных структур / Н. Н. Балан [и др.]. - 2012. - 210 с. : ил. - Библиогр.: с. 170-180 (125 назв.). - 300 экз. - ISBN 978-5-905872-04-4

ГРНТИ	УДК
61.31.51	661.666-022.532

Рубрики:
Углеродистые материалы и изделия
Нанотехнологии

Аннотация: Рассмотрены общие и специальные вопросы технологии формирования стабильных электропроводящих объектов с минимальными размерами 3 нм на углеродной основе методами сканирующей зондовой литографии. Решена задача о нестационарном локальном нагреве подложки приповерхностным точечным источником тепла. Приведены некоторые технические решения устройств, предназначенных для исследования и модификации поверхности твердого тела зондовыми методами. Подробно описана, технология изготовления ультраострых зондов на основе соединений олова для сканирующих зондовых микроскопов.
Доп. точки доступа:
Балан, Н.Н.
Васин, В.А.
Ивашов, Е.Н.
Кузькин, В.И.
Львов, Б.Г.

Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/67641/2)

Шифр в сводном ЭК: 52d231f5e49ae141d0e629a67db1420b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа