Полное описание

Ююкин, Н. В. Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.06 / Н. В. Ююкин. - Воронеж, 2006. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 ( 12 назв. ). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.01.85	621.3.049.77-047.84:776(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар07-2142)

Шифр в сводном ЭК: 44cbba78931022b7fb402b92cc5cdd56

Заказать издание
Заказ фрагмента документа