• ВХОД

    •  

    Полное описание

    International symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication (3rd ; 1999 ; Tokyo). Papers presented at the 3rd international symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication, Tokyo, Nov.29- Dec.1, 1999 / ISSS-3 ; International symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication (3rd ; 1999 ; Tokyo) . - Tokyo : Japan soc. of appl. phys., 2000. - 4255-4691 p. p. : ill. - (Japanese journal of applied physics ; 2000,Vol.39,N 7B). - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце ст. Указ.в конце кн.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002(063)

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
    Доп. точки доступа:
    Asahi, H.\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W2806/2000,Vol.39,N 7B)

    Шифр в сводном ЭК: 3d14958455fe387bb95e59e48a041b54



    Заказ фрагмента документа