Полное описание

Numerical modeling of gas-phase nucleation and particle growth during chemical vapor deposition of silicon / S.L.Girshick,M.T.Swihart,S.-M.Suh и др. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 1999. - 12 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 98/225). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в кн.

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23

Рубрики:
Кремниевые пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ ПЛЕНКА
Доп. точки доступа:
Girshick, S.L.
Swihart, M.T.
Suh, S.-M.
Mahajan, M.R.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17401/98/225)

Шифр в сводном ЭК: 38e24d779bf47c54d6ce78772339096c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа