Полное описание
> Дюваль, П. Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности / П.Дюваль;Пер.с англ.Н.В.Васильченко и др.;Под ред.С.А.Неустроева. - М. : Мир, 1992. - 263 с. : ил. - Пер. изд. : High vacuum production in the microelectronics industry / P. Duval. - Amsterdam, 1988. - 800 экз. - ISBN 5-03-002002-0. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 203-208 (125 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.3.049.76.002 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Доп. точки доступа:
Duval, P.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-92/2674)>
Шифр в сводном ЭК: 29fdf1f7117aa378e2675de0422ab50b
Заказ фрагмента документа