• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Zhan, Q. Measurement of surface features beyong the diffraction limit using an imaging ellipsometer / Q.Zhan,R.Leger. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 2002. - 13 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 2002/53). - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:c.8-9

    ГРНТИ УДК
    90.27.37681.785.35

    Рубрики:
    Эллипсометрия

    Доп. точки доступа:
    Leger, R.
    University of Minnesota (Minneapolis, Mn). Supercomputer institute

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17401/2002/53)

    Шифр в сводном ЭК: 23ef3aec577eee58ebf6c09566cb5346



    Заказ фрагмента документа ₽