Полное описание

Получение нанометровой шероховатости корпускулярно-лучевыми методами / Е. В. Одинокова, Б. И. Левин, А. В. Молчанов [и др.]. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XX юбил. науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, сент. 2013 г. - М. : МИЭМ, 2013. - С. 208-212. - Библиогр.: 4 назв.
ГРНТИ 47.13.33

Аннотация: Показаны способы получения нанометровой шероховатости поверхности ионно-лучевой и ионно-кластерной обработкой. Приведены результаты измерения параметров шероховатости поверхности ситалловой подложки до и после ионно-лучевого полирования.
Доп. точки доступа:
Одинокова, Е.В.
Левин, Б.И.
Молчанов, А.В.
Панфилов, Ю.В.
Симакин, С.Б.
Юрченко, П.И.


Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -321542-760343)

Шифр в сводном ЭК: 1da01688b07c38f9adf71230c7fd8183

Заказать издание
Заказ фрагмента документа