Полное описание

Yu, X. Untersuchungen zum Einfluss von mechanischem Stress auf die Migration in Metallisierungsstrukturen integrierter Schaltungen : Diss. / X.Yu. - Hannover, 2000. - X, 91 S. 91 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.87-91

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84:621.793(043)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Металлизация

Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/21084)

Шифр в сводном ЭК: 1c39a2ac9a266c5309737752d8c73cef

Заказать издание
Заказ фрагмента документа