Полное описание

Тысченко, И. Е. Физические процессы при ионно-лучевом синтезе структур на основе кремния : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10 / И. Е. Тысченко. - 2015. - 40 с. : ил. - Библиогр.: с. 33-40. - 120 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.9-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- ИОННЫЙ СИНТЕЗ -- КРЕМНИЙ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар15-9073)

Шифр в сводном ЭК: 19fccb529516f80e66a2ce9482141896

Заказать издание
Заказ фрагмента документа