Полное описание

Епимахов, И. Д. Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / И. Д. Епимахов. - М., 2003. - 22 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 21-22 (12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-1168)

Шифр в сводном ЭК: 180d936ca7a86edb73d6be407e6861d7

Заказать издание
Заказ фрагмента документа