Полное описание

Формирование молекулярных пучков для ионной имплантации / Ю. А. Ваганов [и др.]. - Дубна : [б. и.], 2009. - 11 с. : ил. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Р13-2009-117). - Библиогр.: с. 11(9 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.793.184(04)

Рубрики:
Ионное внедрение

Доп. точки доступа:
Ваганов, Ю.А.
Мончка, Д.
Словински, Б.
Юшкевич, Ю.В.
Зубржицки, Я.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/2509/Р13-2009-117)

Шифр в сводном ЭК: 17769575dae57056b262c2be9896739b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа