Полное описание

Диэлектрики в наноэлектронике / В. А. Гриценко, И. Е. Тысченко, В. П. Попов, Т. В. Перевалов. - Новосибирск : Изд-во Сиб. отд-ния Рос. акад. наук, 2010 (Новосибирск). - 257 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - 500 экз. - ISBN 978-5-7692-1081-5. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Сибир. отд-ние Российской академии наук

ГРНТИ	УДК
45.09.37	621.315.61-416

Рубрики:
Диэлектрические пленки

Аннотация: Рассмотрены строение пленок оксида и нитрида кремния, полупроводниковые нанокристаллы в диэлектрических пленках, электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью, технология структур кремний-на-изоляторе, физика приборов флэш-памяти.
Доп. точки доступа:
Гриценко, В.А.
Тысченко, И.Е.
Попов, В.П.
Перевалов, Т.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-10/49017)

Шифр в сводном ЭК: 15254e1b5e0bf81ec422bc8519ff1764

Заказать издание
Заказ фрагмента документа