• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий : учебное пособие для аспирантов направления 11.06.01 / Д. Б. Золотухин, А. С. Климов, А. В. Тюньков [и др.] ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Изд-во ТУСУРа, 2020. - 172 с. : ил. - (Серия: Учебное издание ТУСУРа, 2020). - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 162-169 (85 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-86889-891-4. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    55.20.15621.9.048.7
    621.9.04:533.9

    Рубрики:
    Электронно-ионная обработка
    Плазменная обработка материалов

    Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМ -- ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ПЛАЗМЕННОЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ПУЧКОВОЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ФИЗИЧЕСКИЕ ПРИНЦИПЫ -- ЭЛЕКТРОННО-ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
    Аннотация: Рассматриваются основные физические процессы взаимодействия ускоренных частиц и плазмы с веществом, принципы работы пучкового и плазменного технологического оборудования, применение электронно-ионно-плазменных технологий в промышленности. Для аспирантов направления подготовки, а также студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области физической электроники, ионно-плазменных и лучевых технологий, вакуумной и плазменной электроники, микро- и наноэлектроники, физики твердого тела, материаловедения. Учебное пособие может быть полезным для специалистов и инженеров, сфера деятельности которых касается взаимодействия плазмы и ионных пучков с поверхностью, методов обработки материалов потоками заряженных частиц.
    Доп. точки доступа:
    Золотухин, Денис Борисович
    Климов, Александр Сергеевич
    Тюньков, Андрей Владимирович
    Окс, Е.М.
    Юшков, Ю.Г.
    Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-20/84502)

    Шифр в сводном ЭК: 02760d3e4b8b61d3745123d8b1494b38



    Заказ фрагмента документа