Полное описание

Д10-21/97487
539.2/П 207
Патрушева, Тамара Николаевна. Безопасность при работах по нанесению тонких пленок / Т. Н. Патрушева, С. К. Петров ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Балтийский государственный технический университет "Военмех". - Санкт-Петербург : БГТУ, 2021. - 152, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 146-152 (113 назв.). - 300 экз. - ISBN 978-5-907324-46-6 : 200 р. - Текст (визуальный) : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.19.16	539.23

Рубрики:
Пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): нанесение покрытий -- пленочные покрытия -- оксидные тонкие пленки -- технология производства -- золь-гель метод
Аннотация: Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенерации отработанных растворов в цехах химической и электрохимической металлизации и охраны труда при производстве этих работ, а также перспективные методы получения полимерных и оксидных пленок.
Доп. точки доступа:
Петров, Сергей Константинович
Балтийский государственный технический университет "Военмех" (Санкт-Петербург)

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (2)
Обложка

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽