Полное описание

Д10-19/80194
621.79/К 725
Кострин, Дмитрий Константинович. Ионно-плазменные источники для плазмохимического синтеза функциональных покрытий / Д. К. Кострин, А. А. Лисенков, А. И. Кузьмичев ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2019. - 165 с. : ил. - Библиогр.: с. 150-163 (227 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-7629-2523-5 : 260 р. - Текст (визуальный) : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.22.19	621.793.74.06
	621.793.184.06

Рубрики:
Металлизаторы плазменные
Металлизаторы вакуумные

Кл.слова (ненормированные): углеродсодержащие покрытия -- осаждение покрытий -- электрофизическое оборудование -- плазма низкотемпературная -- вакуумно-дуговой разряд -- тлеющий разряд
Аннотация: Рассмотрены физико-химические особенности технологических процессов распыления графитового катода стационарным вакуумно-дуговым разрядом.
Доп. точки доступа:
Лисенков, Александр Аркадьевич
Кузьмичев, Анатолий Иванович
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽