Шаяпов В.Р. Физико-химические свойства пленок, образующихся в плазмохимическом процессе осаждения из паров гексаметилдисилазана : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 02.00.04 / В. Р. Шаяпов, 2013. - 22 с. - Текст : непосредственный.