Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 9 : Методы литографии в наноинженерии / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков, 2011. - 175 с. с. - Текст : непосредственный.
Цветков, Ю. Б. Процессы и оборудование микротехнологии : учебное пособие. Модули 1, 2, 2018. - 123 с. - Текст : непосредственный.
Цветков Ю.Б. Основы управления топологической точностью микролитографии : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.06 / Ю. Б. Цветков, 2006. - 32 с. с. - Текст : непосредственный.
Ватолкина Н. Ш. Инженерная педагогика: современные технологии инженерного образования : учебник для вузов / Н. Ш. Ватолкина, В. Я. Горбунов, Е. А. Губарева, Ю. И. Димитриенко [и др.], 2022. - 232 с. - Текст : электронный.
Приложение
для Android