Сидорова С.В. Исследование влияния технологических режимов на размеры островковых наноструктур / С. В. Сидорова, И. Н. Куликов, Д. В. Тетерук. - Текст : непосредственный. // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - с. 211-215