Райнова Ю.П. Быстрые термические процессы в технологии микроэлектроники : Учеб.пособие по курсу "Перспектив.процессы технологии микроэлектроники" / Ю.П.Райнова, 2001. - 103 с. - Текст : непосредственный.
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т. / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова, 2010. - 392 с. с. - Текст : непосредственный.