Электронный каталог

    страница из
    всего найдено записей: 8,
      отображать

    Лицевая сторона карточкиОбратная сторона карточки

    Лицевая сторона карточкиОбратная сторона карточки

    Путря М.Г. Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / М. Г. Путря, 2002. - 53 с. - Текст : непосредственный.

    Путря М.Г. Плазменные методы формирования трехмерных структур УБИС : учеб. пособие / М. Г. Путря, 2005. - 128 с. с. - Текст : непосредственный.

    Королев, М. А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учеб. пособие : в 2 ч. Ч. 2 : Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования / М. А. Королев [и др.], 2009. - 422 с. с. - Текст : непосредственный.

    Голишников, А. А. Вакуумные плазменные технологии в производстве СБИС : учеб. пособие. Ч. 1 : Получение и измерение вакуума. Основные понятия физики плазмы, 2010. - 163 с. с. - Текст : непосредственный.

    Нанотехнологии в электронике. Выпуск 2 : Учебное пособие. Нанотехнологии в электронике. Выпуск 2 / Артамонова Е. А., 2013. - 688 с. - Текст : электронный.

    Нанотехнологии в электронике-3.1 / Амиров И. И., 2016. - 480 с. - Текст : электронный.