Наноразмерные поры в аморфном нитриде кремния при облучении ионами вольфрама и химическом травлении / А. Ю. Дидык, В. А. Скуратов, Л. А. Власукова [и др.]. - Текст : непосредственный. // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVI науч.-техн. конф., окт. 2009 г. - М. : МИЭМ, 2009. - с. 152-154