Патюков С.И. Разработка низкотемпературных, не вносящих радиационные дефекты, процессов осаждения диэлектрических слоев в реакторе с групповой обработкой пластин : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / С. И. Патюков, 1990. - 22 с. - Текст : непосредственный.