Ноженков М.В. Научные основы расчета и выбора режимов формирования в вакууме защитных покрытий со сверхнизким трением : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / М. В. Ноженков, 2013. - 32 с. - Текст : непосредственный.