Мяконьких А.В. Мониторинг плазмохимических процессов формирования микро- и наноструктур методами зондовой диагностики : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / А. В. Мяконьких, 2009. - 26 с. с. - Текст : непосредственный.