Лютецкая И.Г. Микропрофилирование композиции "SiC-AIN" методом реактивного ионно-плазменного травления : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / И. Г. Лютецкая, 1999. - 16 с. - Текст : непосредственный.